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1、微米技术用于定义物理特征尺寸接近1m(10-6m)的系统。

2、20世纪60年代末，研究人员实现了机械器件的小型化和量产化，这项技术给机械领域带来的进步不亚于集成电路技术给电子领域带来的进步。

3、微米技术，也称为微机电系统(MEMS)，始于1969年西屋公司设计的谐振栅场效应晶体管。

4、在接下来的十年中，一些制造商开始使用体硅蚀刻技术来生产压力传感器。

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