大家好我是小蝌蚪，电子束蒸发，关于电子束蒸发的基本详情介绍很多人还不知道，那么以下内容是本小编对于此话题的观点：

1、真空蒸发工艺是将固体材料置于高真空环境中加热，使之升华或蒸发并淀积在特定的衬底上，以获得薄膜的工艺方法。

2、真空蒸发工艺在微电子技术中主要用于制作有源元件、器件的接触及其金属互连、高精度低温度系数的薄膜电阻器，以及薄膜电容器的绝缘介质和电极等。